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华芯(嘉兴)晶圆载具空中驱动搬送车OHT,采用IPT(Inductive Power Transfer)非接触式供电体系,可实现点对点跨Inter/Intra 传送功能;符合SEMI标准,兼容8/12 inch料盒。
项目 | SPEC |
尺寸 | 710mm*460mm*962mm |
车重量 | 115~125kg |
振动 | 直线<0.5G 弯轨<0.5G |
洁净度 | CLASS 100 |
直线速度 | Max. 3.5 m/s |
曲线速度 | Max.0.8m/s |
Foup取放速度 | <10S |
载具荷重 | Max.15kg |
爬坡能力 | <6度 |
电力供给 | IPT无线供电 |
通讯协议 | E84、SECS/GEM Communication |
安全规范 | SEMI Compliance |
*提供12寸FAB的标规天车/可依据8寸FAB客户需求做客制化设计 |
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文章及图片来源 | 华芯
第七届中国系统级封装大会
elexcon 2023半导体先进封装展
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