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第104届中国电子展(CEF)定于2024年11月18日至20日在上海新国际博览中心盛大举行。本次展会特别设置了核心先导基础元器件馆以及终端创新应用馆,旨在全面展示电子信息行业的最新成果与未来趋势,为参展商与观众搭建一个高效、专业的交流平台。
- 参展企业简介 -
浙江博开机电科技有限公司
展位号:2B131
浙江博开机电科技有限公司总部位于浙江省金华市,是一家专业从事低温真空产品开发、生产、销售的新型科技类企业。公司十分重视技术工作,拥有一批在低温真空行业多年工作经验的专业技术人员,并和相关高等院校、科研院所建立了良好合作关系,不断保持行业技术领先性。
博开公司的低温真空产品在众多领域都发挥了重要作用,例如真空镀膜、集成电路与半导体器件制造、真空排气台、平板显示器件制造、科研设备及仪器(如新材料研究、超导、凝聚态物理和表面物理研究)、产品环境试验、工业气体处理和供应等。
浙江博开机电科技有限公司奉行“规范、高效、专业、超越”的企业精神,致力于打造低温真空行业一流民族品牌,努力为客户提供高品质、高性价比的产品。
- 展示范围 -
低温真空泵
低温真空泵(又称低温泵、冷泵、冷凝泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的积聚式真空泵,是无油高真空环境获得设备。低温泵应用于半导体、集成电路、光电器件的制造工艺过程,是集成电路专用设备中的关键设备之一;低温泵也用于各种其他镀膜设备和真空应用设备中。
低温真空泵广泛应用于:
1)半导体、集成电路、光电器件的镀膜工艺过程;
2)光学镜片镀膜;
3)磁控溅射镀膜生产线;
4)空间环境模拟;
5)真空排气台等。
低温真空泵主要特点:
1)低温真空泵是吸附式真空泵,工作时无需前级泵;
2)低温真空泵需要再生;
3)低温真空泵对不同气体具有不同的抽速和抽气容量。
低温真空泵的主要优点:
1)高极限真空度。基本型可达10-6Pa真空度,特殊要求时可达10-7Pa以上;
2)大抽速。对空气尤其是对水蒸汽具有超高的抽速,其它真空泵不可比拟;
3)真正洁净。
4)运行成本低
5)安全可靠
6)使用方便
参展产品:IG系列低温真空泵
IG系列是为高端真空装备配备的全自动智能性低温泵,主要针对客户半导体集成电路尤其是离子注入机所开发的全自动智能系列产品,常见规格有IG200,IG250,IG320,IG400,IG550型低温泵具有以下特点:
1)使设备产量最优化
2)延长正常运行时间
3)内部加热及充氮气全自动再生系统
4)配置可接尾气处理装置的安全阀
5)智能的“自适应”技术
- 自动低温热载荷补偿
- 变频电机系统
6)更低的购置成本
- 每台压缩机可支持更多的泵
- 在产能没有任何改变的情况下更节能
- 变速电机可最大程度地延长泵的使用寿命
7)可实现本地或远程操作
8) 配备操作手柄,可实现故障查询及修改参数
超低温冷阱
超低温冷阱是利用77低温制冷机作冷源,通过冷凝真空系统或管道中的水蒸汽而获得真空的装置。管道式超低温冷阱与分子泵组合使用,通过低温制冷机产生低于77K的低温,强力吸收真空系统中的水蒸汽,解决分子泵抽水蒸汽难的问题。博开公司该系列产品目前主要标准型号为:DWB200、DWB250、DWB300等。
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