参展企业：矽翔微机电系统有限公司

矽翔微机电系统有限公司（Siargo Ltd.）成立于2003年。公司总部位于美国加州硅谷。矽翔公司是目前世界上唯一生产具有自主知识产权、低功耗、超大量程 MEMS流量芯片的厂商。其核心部件MEMS流量芯片及其专利封装技术由公司自主研发，可用于各类气体及微液体的流量计量和测控，为传统流体计量带来了根本的变革，提供了全新的拓展空间。

公司基于MEMS芯片的流量芯片广泛应用于医疗麻醉与呼吸设备，医院中心供氧、制氧设备、分床计费系统，工业制造业用气测量及过程控制，环保行业大气监测及分析，食品饮料加工，科学气体分析仪器，楼宇自控，光伏半导体，汽车车载电子与汽车生产工艺控制，农林渔业养殖等领域。在微液体流量计量方面，如胰岛素注射、镇痛泵、输液泵等行业也有广泛的应用。

1、MFC2000气体质量流量控制器

MFC2000系列气体质量流量控制器，可用于非腐蚀性气体流量控制，涵盖质量流量50mLn/min~200Ln/min，可提供0~5VDC或4~20mA模拟信号控制，或RS485Modbus数字信号控制。

MFC2000质量流量控制器的控制范围可达100:1，可工作在为0.1~0.8MPa，0~55℃，机械接口可选双卡套、VCR或UNF，并可定制其他机械接口。

MFC2000质量流量控制器采用本公司专有的MEMS流量传感芯片，集成了时域流量传感技术和智能电子技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比，这种独特的时域流量传感技术消除了一些常见气体的敏感性。而对于另外一些敏感性气体，可以配合软件实现气体识别。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化，并结合防水、防油纳米涂层，产品性能和可靠性得以大幅提高。时域流量传感技术还提供了更好的线性度，并使温度效应大幅降低。

2、MFC4000气体质量流量控制器

MFC4000质量流量控制器的控制范围可达100:1，可工作在为0.1~0.8MPa，涵盖质量流量0mLn/min~1000Ln/min

0~55℃，机械接口UNF10-32内螺纹或双卡套Ф3，并可定制其他机械接口。

3、MF3000气体流量开关

MF3000系列气体质量流量计能直接测量气体质量流量，适用于各类清洁、干燥气体。MF3000测量范围覆盖(0~2)SLPM到(0~1500)SLPM，最大工作压力提高到0.8MPa。MF3000提供多种信号输出，通过RS485或IC数字通讯接口可实现远程数据采集与设置，并可选择NPN或PNP开关信号输出。MF3000同时具备LED数字显示和按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数。

4、MF6600系列气体质量流量计

应目前市场需求而开发，采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。长久以来，转子流量计大量应用于低成本的气体过程控制但其采用光电数字转换的方式已不能满足对于精度、成本和数字化技术的发展要求。MF6600在机械安装尺寸上兼容转子流量计，实现高精度质量流量测控和多种数字远传及电池供电选项。

5、LF3000系列微液体流量计

采用公司自主研制的微机电热飞行时间传感器。产品量程比大于100:1，稳定性好，温度性能好。还可以根据请求进行完全定制。

LF3000可用于通用微流量计量、分析仪器制药过程控制、精密化学仪器、实验室设备、医疗自动化等行业

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