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【收藏】半导体设备行业概况及阀门国产化现状

来源：世展网分类：泵阀门行业资讯 2024-02-29 17:03 阅读：10709

2025年上海国际泵阀展览会FLOWTECH CHINA

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距离41天

作为半导体设备制造过程中不可或缺的关键设备之一，半导体阀门的技术水平和市场需求也在不断提高，本期阀门期刊对半导体设备行业进行整体梳理，为阀企在半导体阀门领域布局提供依据。

半导体设备行业介绍

半导体产业作为现代信息技术产业高速发展的基础和原动力，已成为社会发展和国民经济的基础性、战略性和先导性产业。半导体设备泛指用于生产各类半导体产品所需的生产设备，属于半导体产业链的关键支撑环节。半导体设备以及半导体材料处于半导体产业链中的上游环节。其中，半导体材料主要包括衬底材料（如硅片）、工艺材料（如光掩模、光刻胶、靶材等）及封装材料，半导体设备主要包括刻蚀机、光刻机、清洗设备等。半导体产业链的中游包括设计、制造、封装测试三大环节，根据产品功能又可分为集成电路、分立器件、光电子器件和传感器四大分支。半导体产业链的下游应用颇为广泛，包括消费电子、汽车电子、工业控制、网络通讯等领域。

中国半导体设备行业发展相关政策

我国半导体市场规模长年占全球市场 1/3 左右，有非常旺盛的需求。近几年，我国相继推出一系列产业支持政策，加速半导体设备国产化。“十三五规划”提出要优化产业结构，推进包括CMP设备在内的集成电路专用设备关键核心技术的突破和应用；“十四五规划”明确指出，要深入实施制造强国战略，加快补齐元器件的瓶颈短板。█ 2019-《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录》：化学机械抛光机作为集成电路生产装备之一列入该目录。█ 2020-《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》：为进一步优化集成电路产业和软件产业发展环境，深化产业国际合作，提升产业创新能力和发展质量，制定出台财税、投融资、研究开发、进出口、人才、知识产权、市场应用、国际合作等八个方面政策措施。█ 2021-《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》：集中优势资源攻关核心技术，其中集成电路领域包括集成电路设计工具、重点装备和高纯靶材，集成电路先进工艺和绝缘栅双极晶体管（IGBT)、微机电系统(MEMS)等特色工艺突破，先进存储技术升级，碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体发展。

中国半导体设备行业发展现状

我国半导体设备行业在下游快速发展的推动下，保持快速增长。据统计，2022年中国半导体设备市场规模为282.7亿美元，同比下降4.6%。我国半导体设备行业市场规模在2017-2022年的年复合增长率为28%，增速明显高于全球。机构预测，2024年中国半导体设备市场规模将达到449.20亿美元，同比增加14.94%。2022年中国半导体行业在全球市场份额中的占比进一步提升。中国市场份额占比从2017年的14.5%提升至2022年的26.3%。自2020年开始，中国就占据半导体设备行业的领先地位。

半导体阀门的特点

半导体阀是由半导体器件和辅助设备组成的阀门，主要用于控制流体系统中流体的方向、压力和流量。在半导体制造过程中需要很多阀门和配件的解决方案，所有阀门都要保证在高循环次数及精确的可重复性。精确性主要体现在在规定时间内实现精确的体积流动，实现一致、可靠的密封。半导体阀门主要应用于晶圆生产过程中的真空系统与流体系统内，主要分为真空阀、隔膜阀、波纹管阀、球阀、蝶阀、门阀、角阀、特氟龙阀门和其他，其中真空阀为主要的半导体阀类型，因为在半导体设备制造过程中，真空环境基本贯穿始终。比如在CVD、PVD、ETCH、DIFF、RTP、去胶等多种工艺流程设备及Fab厂务中，半导体真空阀门能够在真空系统中起到调节压力、控制真空度等作用。

根据新莱应材公告，半导体管材和阀门价值量比例约为1:1，故推测全球半导体阀门市场规模约16.7亿美元，中国半导体阀门市场约在4.5亿美元（折合人民币30亿元）。预计至2030年，国内半导体阀门市场规模可达65亿元。此外，根据市场调研，半导体阀门与面板、光伏等产业阀门市场规模比例约2：3，据此推测，国内泛半导体产业阀门市场近百亿元。现代半导体工艺要求工艺气体具有尽可能高的纯度，这意味着对超高纯气体的需求也会随之增加。所以拥有可靠的超高纯气体供应，对半导体制造过程非常重要，尤其当涉及到智能手机、IT行业和无人驾驶等世界先进技术领域。纯度越高的气体，对气体所要求的杂质含量、微粒含量、水份含量、尘埃颗粒等要求也就越苛刻，在生产过程中，管道的输送质量和阀门的控制精度，以及整个工艺中气体所接触表面的要求也非常高。因此，不仅要求有洁净的生产、装配、测试、包装环境，而且对生产过程中所需的各种超高纯气体有严格而特定的要求。按照ISO 14644的要求，对于超高纯气体的输送管道和阀门，其生产，操作和装配环境已经不低于Class 5，其悬浮粒子的洁净程度已经非常高，对于气体的纯度一般已经要求纯度在99.99%以上。

半导体阀门企业

全球主要半导体阀门生产企业包括VAT、富士金、派克、世伟洛克等，其中美国和日本企业在中国市场市占率较高。国内企业凭借近期国产替代需求以及境外企业交期太长等利好因素，且受益于韩国芯片制造能力扩大和中国大陆大规模新建晶圆厂，2019年以来全球半导体阀门及管接头市场规模快速增长。█ 新莱应材主营业务为洁净应用材料和高纯及超高纯应用材料的研发、生产与销售。产品线涵盖食品类、医药类、泛半导体等产品；产品广泛应用于食品安全、生物医药和泛半导体等业务领域，是国内覆盖真空半导体、生物医药、食品安全三大领域的高洁净应用材料制造商，半导体刻蚀设备核心部件供应商。█ 四川九天真空拥有以真空阀、薄膜规、真空部件、真空系统集成为主的四大核心业务，自主研发真空系列产品数千余种，是国内产品线齐全的真空技术企业。具备真空产品设计研发、生产制造、销售供应和售后保障的综合服务能力，产品广泛应用于科研院所、半导体、电子通讯、新材料、新能源、人工智能、生物医疗等各国家战略性支柱行业。

█ 中科艾尔（北京）科技有限公司主要产品为半导体级气路关键部件。超高纯减压阀、阀门、EP 管和接头等系列产品打破了国际垄断，助力半导体气路零配件的国产化进程。经过精密机加、抛光、清洗、组装、封装测试等工艺流程，100 余道精细化制造工序，产品满足半导体行业一致性标准，并于2021年成为中芯国际的气路零配件（国产）合格供应商。█ 北京安卓泰克科技有限公司主要产品为氢能及半导体，石油化工及电力行业、航空航天、科院院所及高校使用的高品质流体控制阀门等设备。公司在山东滕州建设新的工厂可以实现快速交货，同时为企业新产品的批量化生产和产能的提升提供保障。█ 无锡凯必特斯半导体科技有限公司提供半导体真空阀门及加热零部件产品。经过多年研发，已成功攻破半导体真空阀、加热零部件等多款半导体核心零部件的设计、生产、材料、算法等相关难题，成功导入中芯国际、华虹、盛美上海、士兰微、华润微、邑文、积塔半导体等10余家国内知名Fab厂和设备厂龙头企业。▼半导体设备是支撑电子行业发展的基石，也是半导体产业链上游环节市场空间最广阔，战略价值最重要的一环。半导体阀门作为重要设备零部件，未来发展前景可期，值得阀企深度布局。

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参考资料来源 | 汉鼎咨询、华经产业研究院、九派资本、破卷研究、力合资本

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