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【点赞】深光协会员企业 “博顿光电” 国产化IBS离子束溅射镀膜机点燃CIOE中国光博会

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【点赞】深光协会员企业 “博顿光电” 国产化IBS离子束溅射镀膜机点燃CIOE中国光博会

来源：世展网分类：光电行业资讯 2023-09-13 17:42 阅读：11374

2025年台湾光电及激光展览会OPTO Taiwan

2025-10-22-10-24

距离177天

2023年9月6-8日，第24届中国国际光电博览会在深圳国际会展中心（宝安新馆）盛大开幕！博顿光电携多款全国产化新品于1号光学真空镀膜馆1B53号展位精彩亮相！

新品亮相，汇聚全场焦点

以离子束核心技术为基础不断拓展全自主可控高性能离子源博顿光电自成立以来，一直以离子束核心技术引领者为奋斗目标，目前已成为国内市场上产品品类最全、批量出货最多、工艺案例最广的国产高端离子源厂商。经过几年的持续研发投入和技术积累，博顿具备了离子束底层物理原理和仿真模拟、特种精密电源和以多层栅网为代表的核心部件的全自主设计与制造能力，一直在不断拓宽离子源产品品类和工艺应用的边界，最新推出了矩形射频离子源、23cm射频离子源、35cm超大多层栅网等离子源及其关键零部件新品，以满足更多工艺应用场景和更高品质的市场需求。

博顿光电HIT系列中空阴极霍尔源、RISE射频源、DISE直流源等经过市场验证，深受客户好评。

全自主研发IBS溅射镀膜机博顿产品线再获国产替代突破依托全自主可控离子源和工艺应用开发的综合能力，博顿“天玑IBD-XPUTTER”作为国内首台真正全国产化的IBS离子束溅射镀膜设备，吸引到众多同行专业观众驻足围观，成为全场热议的焦点。博顿光电天玑IBD-XPUTTER拥有“全自主可控离子源+智能控制系统+宽光谱光控系统+可视化监控系统”组合，是国内第一台核心部件和系统真正全自主研发的IBS离子束溅射镀膜设备，已经在航天军工领域应用中实现了国产替代，经过与顶级客户的共同努力，设备工艺应用指标已基本达到国外一流厂家水平。国内首发宽光谱自适应实时光控系统高精度光学镀膜领域常年以来一直被“卡脖子”的除了离子源之外的另一个关键是实时光控系统，博顿光电经过近两年的研发，在业内率先推出了独有的宽光谱自适应实时光控系统。○全自主研发光控核心算法和系统模型；○光谱能量数据实时采集和非线性误差自适应校正；○监控策略可配置和自动判停；○膜系预演和结果回溯对比分析。

离子束微纳加工解决方案除了新款离子源与镀膜设备，博顿光电还为客户带来了IBE刻蚀工艺应用案例、多腔体团簇Cluster等多种离子束微纳加工解决方案。

从离子源核心部件到离子束整机装备，再到下游的行业应用，博顿光电充分印证了自身在离子束微纳加工领域一流的技术实力和标准化体系化的量产能力。携手聚力，共建行业生态博顿光电致力构建开放共享的产业新生态模式，同时与多家科研院所达成战略合作，及聘请资深行业专家共同为新兴产业工艺应用方向发展带来助力。

与航天九院激光公司达成战略合作共同探索超高精度镀膜设备与工艺技术在航天军工领域的国产替代和新工艺应用

与湖南大学粤港澳大湾区协同创新研究院达成战略合作双方将面向基于离子束的极端加工工艺开发与特种设备研制展开全面深度合作。

特聘行业专家宋治平老师为博顿专家顾问为高端光学、半导体光学工艺应用方向发展带来助力。国产替代突破再获认可“中国光电博览奖”由全国政协教科卫体委员会副主任、科技部原副部长曹健林教授提议，中国国际光电博览会主席团发起设立，旨在进一步推进中国光电产业技术发展，与国际先进的光电技术产品共促共进；激励参展参会企事业单位对新技术、新产品竭力创新的积极性。展会期间，博顿光电凭借“基于全国产化射频离子源的离子束溅射薄膜沉积装备”项目荣获“中国光电博览奖”优秀奖。这一奖项是行业专家们对博顿IBS溅射镀膜设备的权威认可，也是对博顿始终坚持走国产化道路的高度肯定。