【5月30日上海先进陶瓷论坛嘉宾介绍】杭州大和江东 技术开发部部长 马玉琦 ：先进陶瓷材料在半导体设备上的应用及特性

演讲嘉宾

马玉琦

杭州大和江东新材料科技有限公司

技术开发部部长

演讲报告

先进陶瓷材料在半导体设备上的应用及特性

报告摘要

报告内容分为五个部分：集成电路芯片制作的工艺流程介绍；芯片制成中与先进陶瓷相关的半导体设备介绍；半导体设备用先进陶瓷材料种类；半导体设备用先进陶瓷材料特性介绍；国内氧化铝精密陶瓷材料现状及与国外差距；未来半导体设备上先进陶瓷材料的发展趋势。

嘉宾介绍

马玉琦: 男，高级工程师， 硕士研究生，现就职于FERROTEC集团旗下杭州大和江东新材料科技有限公司担任技术开发部部长。

在半导体行业高端装备先进材料领域拥有15年的从业经历，主要从事于半导体硅晶圆制程工艺PE-CVD，MO-CVD以及刻蚀设备机台中的耗材如高纯氧化铝，石英以及硅材料，碳化硅以及氮化硅，氮化铝，CVD-SIC等特殊陶瓷材料和精密加工技术的研发，熟悉国外半导体装备公司（美国应用材料（AMAT）,科林（LAM），日本TEL）和国内半导体装备公司（北方华创，上海微电子以及中微等）等OEM设备厂家的认证体系，多年来主持完成了多项重大项目的开发工作， 2012年开发完成了液晶行业用大尺寸半导体高纯氧化铝陶瓷（2000*200*40mm）陶瓷材料，并实现了产业化。2014年，成功导入日本8寸和12寸等静压成型烧结大尺寸高精密氧化铝陶瓷生产线，并形成量产，填了国内半导体设备用大尺寸半导体高纯氧化铝材料的空白，2018年，主持开发了高热导率氮化铝材料项目（热导率>170w/(mk)），产品目前已经通过了美国应用材料等公司的认证体系， 拥有发明专利4项目，实用新型专利20项。

会务费

2600元/位

参会咨询

杨冉  183 2133 5752（微信同号）

邮箱：yolanda.yang@unirischina.com

 长按识别二维码报名参会！

会务费请汇款至以下账号：

户名：佛吉（上海）新材料科技有限公司

开户行：中信银行股份有限公司上海沪西支行 

账号：8110201014100804040

注：①请在备注栏中注明“先进陶瓷论坛”及参会人员姓名。②会务组将向来自高校科研院所等单位的参会代表提供符合财务报销要求的会议通知。

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“2023第四届上海先进陶瓷前沿与产业发展论坛”由中国硅酸盐学会陶瓷分会、中国先进陶瓷产业联盟、新之联伊丽斯（上海）展览有限公司共同主办。本次论坛邀请到了中国工程院院士、清华大学，武汉理工大学，东华大学，中科院上海硅酸盐研究所，湖南大学，山东大学，中科院宁波材料所，东北大学等大学教授、专家，以及国内先进陶瓷龙头企业如潮州三环集团、中材高新、中铝山东、日本株式会社Ferrotec江东新材料等知名企业技术高管莅临演讲，与数百位参会嘉宾交流和分享当前先进陶瓷材料领域的新技术、新工艺、新产品、新市场、新动态。

专题演讲

沙发论坛

签赠仪式

展台展示

参会

费用

会务费2600元/位

时间地点

报到时间：2023年5月29日会议时间：2023年5月30日会议地点：上海客莱福诺富特酒店

主办单位：

新之联伊丽斯（上海）展览有限公司

背靠“参天大树”

在激烈的市场竞争中一招致胜

“第四届上海国际先进陶瓷前沿与产业发展高峰论坛”背靠全球最大规模的先进陶瓷展会——中国国际先进陶瓷展览会，拥有顶级行业协会、世界500强名企、最专业媒体宣传渠道等得天独厚的资源优势。

（展会和论坛举办期间，组委会精心安排大巴往返接送）

第四届上海国际先进陶瓷

前沿与产业发展高峰论坛

14+行业大咖精彩演讲

50+名企

展台展示

500+参会代表交流互动

＋

第十五届中国国际先进陶瓷展览会

商务部引导支持展会

展览面积40,000㎡

中外展商750+家

参展品牌1,500+个

专业观众50,000+

人次

合作媒体100+个

＝

更全面了解行业前沿

更大范围打开社交声量

更精准实现商贸对接

 行业大咖齐上阵

带来多种前瞻性创新思路方案

本届论坛特别邀请到先进陶瓷行业顶级专家、学术界和产业界的众多权威专家和重量级嘉宾，将针对各类先进陶瓷材料的国内外发展态势，关键应用性能、制备工艺、控制要素以及如何突破发展难点等问题做精彩报告，并在现场与观众进行深层次的交流互动。

  *  大会报告语言为中文

*《智能终端陶瓷》签赠仪式（注册参会代表可免费获赠1本）

精准对接高端局

超500家名企携手共筑行业盛会

本届论坛的亮点，除了专业学术报告，论坛主办方还会在现场特别设置展台，进一步深化产学研协同创新，增强行业黏性，加强先进陶瓷产业链上下游科研机构与企业、高校与企业及企业之间的沟通交流，促进产业的新发展和技术进步。

赞助单位一览

已报名参会单位

• 清华大学

• 北京大学

• 东华大学

• 中南大学

• 湖南大学

• 潮州三环

• 风华高科

• 武汉理工大学

• 上海应用科技大学

• 中科院上海硅酸盐研究所

• 中国硅酸盐学会陶瓷分会

• 深圳华为

• 北京北方华创真空技术有限公司

• 美国邱博集团

• 哈尔滨新辉特种陶瓷有限公司

• 东莞昶丰

• 日本京瓷集团

• 山东奥福环保科技股份有限公司

• 合肥费舍罗热工装备有限公司

• 河北永泉电机泵业制造有限公司

• 广东工业大学

• 耐驰（上海）机械仪器有限公司

• 哈尔滨工业大学

• 上海工程技术大学

• 上海煊廷丝印设备有限公司

• 顺络电子

• 日本株式会社Ferrotec江东新材料

• 长沙理工大学

• 赛默飞世尔电子技术研发（上海）有限公司

• 孙公窑陶瓷

• 比亚迪

• 苏州首镭激光科技有限公司

• 上海升阳超微粉有限公司

• 日本大川原

• 张家港市盛澳电炉科技有限公司

• 景德镇陶瓷大学

• 法国圣戈班集团

• 唐山高压电瓷有限公司

• 法国3DCeram

• 中国电子科技集团公司第13研究所

• 浙江德龙科技有限公司

• 中国科学院深圳先进技术研究院

• 中材高新

• 合肥高歌热处理应用技术有限公司

• 意大利SACMI

• 宜兴市欧尔诺陶瓷科技有限公司

• 中国中车集团

• 合肥圣达电子科技实业有限公司

• 东莞信柏结构陶瓷股份有限公司

• 中科院宁波材料所

• 安地亚斯电子陶瓷有限公司

• 北京新风航天装备有限公司

• 弗尔德（上海）仪器设备有限公司

• 北京安视中电科技有限公司

• 清华同方功能陶瓷实验室

• 苏州晶玺茂机械科技有限公司

• 上海翎羽机电科技有限公司

• 中科院空间应用工程与技术中心

• 江西晶瓷新材料科技有限公司

• 上海晨华科技股份有限公司

• 南京以太通信技术有限公司

• 鼎固新材料（天津）有限公司

• 中科院太空制造技术重点实验室

• 东北大学

• 中科院兰州化学物理研究所

• 上海睿力生物科技有限公司

• 天津瑞东国际贸易有限公司

• 珠海金湾经济发展局

• 北京中兴实强

• 山东大学

• 中铝山东研究院

• 中物院成都科学技术发展中心

• 沈阳星光技术陶瓷有限公司

• 中科院金属研究所

• 西南交通大学

• 河北索亿新材料科技有限公司

• 北京市先进粉末冶金材料与技术重点实验室

• 银川艾森达新材料发展有限公司

• 斯凯孚（上海）汽车技术有限公司

• 斯凯孚（中国）有限公司

• 中国电子科技集团公司第四十三研究所

• 武汉理工大学

• 苏州博材贵金新材料有限公司

• 中国金属学会注射成形专业委员会

• 北京科技大学华西新材料（长兴）研究院

• 重庆臻宝

• 淄博中瓷新材料有限公司

• 中国钢协注射成形专业委员会

• 长春长光精瓷

• 青岛瓷兴新材料有限公司

• 苏州市京伦陶瓷有限公司

• 国家级实验教学示范中心

• 益瑞石

• 博世(上海)智能科技有限公司

• 辽宁瓦丹弗新材料科技有限公司

• 清锋科技

• 宁波国兴粉末冶金设备有限公司

• 旭昇

• 上海材料研究所压电中心

• 景德镇市金圭光谱陶瓷有限公司

• 香港城市大学深圳研究院

• 景德镇市正扬机械厂

• 上海大学

• 宁夏新技术应用研究所

• 上海海事大学

• 上海锡纯材料有限公司

• 萍乡百斯特电瓷有限公司

• 丽水学院

• 湖南省新化县人民政府

• 武汉华工激光

• 山东国瓷

• 深圳纽赛瑞材料科技有限公司

• 苏州赛特锐精密机械配件有限公司

• 中瓷电子

• 长玉特陶

• 包头交大赛福尔新材料有限公司

• 上海华硕精瓷陶瓷股份有限公司

• 北京科技大学

• 郭氏集团四川省津大坩埚耐材有限公司

• 南京工业大学 膜科学技术研究所

• 江苏大学

• 西安澳秦新材料有限公司

• 通化宏信研磨材料有限公司

• 北方民族大学

• 北京元六鸿运电子科技股份有限公司

• 江西工陶院精细陶瓷有限公司

• 山东理工大学

• 河南弘程新材料科技有限公司

• 常州市卓群纳米新材料有限公司

• 平顶山市友盛精密陶瓷有限公司

• 三门峡义翔铝业有限公司

• 山东工业陶瓷研究设计院

• 上海力滋新材料有限公司

• 温州山立密封件有限公司

• 长沙珲泰陶瓷科技有限公司

• 珠海惠友电子有限公司

• 湖南红太阳光电科技有限公司

• 天津大学

• 中国电子科技集团公司第十三研究所

• 福建省长汀金龙稀土有限公司

• 盐城东方投资开发集团有限公司

• 江苏金飞轮精密机械装备科技有限公司

• 上海运城制版有限公司

• 南京工业大学 膜科学技术研究所

• 重庆振昊商贸有限公司

• 江苏上瓷时代科技有限公司

• 江南大学

• 辽宁英冠高技术陶瓷股份有限公司

• 嘉庚（江苏）特材有限责任公司

• 中山大学

• 深圳市准骏科技有限公司

• 上海中汇金投资集团股份有限公司

• 上海技术物理研究所

• 上海狮威

• 萍乡顺鹏新材料有限公司

• 国检集团陕西公司

• 山东硅元新型材料股份有限公司

• 山东理工大学

• 长兴宝昌耐火材料

• 湖南维尚科技有限公司

• 浙江赛鑫德新材料科技有限公司

• 河北高富氮化硅材料有限公司

• 西北工业大学

• 常州久压久

• 深圳市奥司卡精密技术有限公司

• 新疆晶硕

• 上海力滋碳素有限公司

• 中国电子科技集团第十三研究所

• 景德镇市金刚钻陶瓷有限公司

• 深圳升华三维科技有限公司

• 成都科宁达材料有限公司

• 三责（上海）新材料科技有限公司

• 浙江昶科陶瓷新材料有限公司

• 湖南维尚科技有限公司

• 上海敬开德精密陶瓷有限公司

• 迅势科技（苏州）有限公司

• 淄博鹤鸿瓷艺

• 武汉三维陶瓷科技有限公司

• 北京元六鸿运电子科技股份有限公司

• 海宁众创精密陶塑有限公司

• 上海优金复合新材料有限公司

• 湖南湘瓷科艺有限公司

• 无锡晨颖机械科技有限公司

• 烟台市瑞浩商贸有限公司

• 潍坊中加碳化硅科技有限公司

• 长沙西丽纳米研磨科技有限公司

• 南京天朗电子装备有限公司

• 上海中研仪器制造有限公司

• 中材高新材料股份有限公司

• 河北永泉电机泵业制造有限公司

• 东莞市利腾达智能装备有限公司

• 淄博科浩热能工程公司

• 福州赛瑞特新材料技术开发有限公司

• 淄博文发新材料科技有限公司

• 纳诺奥耐（天津）科技有限公司

• 厦门至隆真空科技有限公司

• 江苏瑞邦高热制品有限公司

• 穗晔（上海）电子应用材料有限公司

• 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司

• 杭州大和江东新材料科技有限公司

• 苏州艾成科技技术有限公司

• 博世(上海)智能科技有限公司

• 南京理工宇龙新材料科技股份有限公司

• 无锡海古德新技术有限公司

• 株洲瑞德尔智能装备有限公司

• 上海帕克热敏陶瓷有限公司

• 韩山师范学院

• 圣戈班陶瓷材料（郑州）有限公司

• 山东硅元新型材料股份有限公司

• 博罗县何氏模具制造有限公司

• 河南天马新材料股份有限公司

• 兰溪泛翌精细陶瓷有限公司

• 山东硅元新型材料股份有限公司

• 浙江祝发特种陶瓷有限公司

• 唐山贵金甲科技有限公司

• 山东硅元新型材料股份有限公司

• 东莞市琅菱机械有限公司

• 西安明科微电子材料有限公司

• 上海航空测控所

• 维克瑞真空技术（昆山）有限公司

• 上海绿能

• 上海大学

• 芜湖映日科技股份有限公司

• 宁波工程学院

• 华喆（广东）新材料科技有限公司

• 苏州璋驰光电科技有限公司

• 北京中材人工晶体研究院有限公司

• 烟台核晶陶瓷新材料有限公司

• 江苏中磊节能科技发展有限公司

• 中国科学院兰州化学物理研究所

• 淄博义弘科技化工有限公司

• 上海矽诺国际贸易有限公司

• 海宁永力电子陶瓷有限公司

• 杭州斯启科技有限公司

• 浙江华陶新材料科技有限公司

• 上海锡纯材料有限公司

• 谷励健康管理上海有限公司

• 科益智展智能装备有限公司广州分公司（汇专科技集团股份有限公司）

• 广东佛山市陶瓷研究所控股集团股份有限公司

• 广东金刚新材料有限公司

• 珠海真理光学仪器有限公司

• 江西工陶院精细陶瓷有限公司

• 江西宝弘纳米科技有限公司

• 内蒙古木子炭基复合材料有限公司

• 德清县雷晶晶体纤维有限公司

• 无锡丰弘电子有限公司

• 杭州中财

• 佛山市金刚材料有限公司

• 广东省科学院新材料研究所

• 宁波钧乔行汽车配件有限公司

• 力拓贸易（上海）有限公司

• 山东华信电炉有限公司

• 泉州迈宝能源有限公司

• 南京驰顺科技发展有限公司

• 上海电扬实业有限公司

• 南京航空航天大学能源与动力学院

• 湖北烁砺新材料科技有限公司

• 益瑞石(上海）投资管理有限公司

• 江苏天宝陶瓷股份有限公司

• 上海诺纬电子科技有限公司

• 上海科盛陶瓷有限公司

• 成都东谷精工机械有限公司

• 武汉科技大学

• 北方华创

• 浙江德汇电子陶瓷有限公司

• 绍兴德汇半导体材料有限公司

• 沈阳长信新材料有限公司

• 沈阳星光技术陶瓷有限公司

• 佛山三责新材料科技有限公司

• 北科大

• 广东工业大学

• 中国科学院上海硅酸盐研究所

• 上海宇部化工科技有限公司

• 弘信

• 鸿运科技

• 北京中兴实强陶瓷轴承有限公司

• 北方华创

• 重庆臻宝

• 宁夏北瓷新材料科技有限公司

• 广东工业大学

• 中材高新氮化物陶瓷有限公司北京分公司

• 中国中科院深圳先进技术研究院

• 上海硅酸盐研究所

• 北京元六鸿远电子科技股份有限公司

• 韩山师范学院林少敏

• 上海康碳复合材料科技有限公司 

• 上海康碳复合材料科技有限公司

• 江苏矽智半导体科技有限公司

• 国创投

• 小精密工具有限公司

• 上海三棵树新材料科技有限公司

• 九皋科技

• 武汉科技大学 

• 江苏国盛

• 绵竹市金坤化工有限公司

• "wide river industrial Co.Ltd

• 苏州威德瑞付款"

• 龙口精益工贸有限公司

• 北京华卓精科科技股份有限公司

• 威势特（上海）技术服务有限公司

• 深圳市博敏电子有限公司

• 安徽蓝讯通信科技有限公司

• 上海正心谷投资管理有限公司

• 首镭激光半导体科技（苏州）有限公司

• 阿泰欧法铝业有限公司

• 天诺光电材料股份有限公司

• 上海卡贝尼公司

• 上海卡贝尼精密陶瓷有限公司

• 上海卡贝尼新材料科技(上海)有限公司

• 国鼎资本

• 宁波西柯工具技术有限公司

• 福建华清电子材料科技有限公司

• 中国科学院西安光学精密机械研究所

• 北京华宇公司

• 深圳市优图科技有限公司

• 个人

• 北京诠道科技有限公司

• 江西省星海电瓷制造有限公司

• 大同锡纯新材料有限公司

• 河北中瓷电子科技股份有限公司

• 南京麦德材料有限公司

• 华控基金

• 欧力士融资租赁(中国)有限公司

• 中科院西安光机所

• ASUZAC公司

• 浙江立泰复合材料股份有限公司

• 安世亚太

• 上海升阳超微粉有限公司    

• 长光精瓷复合材料有限公司

• 四川九珑科技有限公司    

• 北京元六鸿远电子科技股份有限公司    

• 湖南金炉智能制造股份有限公司

• 韩山师范学院    

• 江苏瑞邦高热制品有限公司    

• 佛山（华南）新材料研究院材料测试中心   

• 联创科技股份有限公司    

• 无锡正佳自控系统股份有限公司

• 扬州市海力精密机械制造有限公司

• 深圳汇智信息技术有限公司

• 兴证投资

• 上海与信材料科技有限公司

• 上海昱奕资产管理有限公司

• 福建创隆进出口贸易有限公司

• 特殊陶业实业（上海）有限公司

• 佛山优合化工科技有限公司

• 沈阳沈真真空技术有限责任公司

• 重庆科技学院

• 上海华强股权投资管理有限公司

• 星宝国际

• 上海微电子装备集团股份有限公司

• 深圳铭晶科技公司

• 成都科愿创业孵化器有限公司

• 上海晟然绝缘材料有限公司

• 深圳市亿达光电技术有限公司

• 浙江东新新材料科技有限公司

• 南阳雷乾新材料有限公司

• kuraray

• 唐山华冠科技有限公司

• 景德镇陶瓷大学

• 上海大学

• 上海新安纳电子科技有限公司

• 丽水学院

• 上海新诺仪器集团有限公司

• 上海东方证券资本投资有限公司

• 北京工业大学

• 烟台核晶陶瓷新材料有限公司

• 上海朝鹰电子器材有限公司

• 深圳市商德先进陶瓷有限公司

• 上海沙烁新材料有限公司

• 娄底市安地亚斯电子陶瓷有限公司

• 丰联科光电（洛阳）股份有限公司

• 武汉凡谷陶瓷材料有限公司

• 深圳市富士精陶科技有限公司

• 山东青州微粉有限公司

• 潮州市索力德机电设备有限公司

• 潍坊弘远微粉有限公司

• 邱博投资有限公司

• 南方科技大学

• 广州润成化工有限公司

• 深圳福禄工业陶瓷有限公司

• 无锡联源新能源技术有限公司

• 苏州第一元素纳米技术有限公司

• 上海戎创铠迅特种材料有限公司

• 开特电子云梦有限公司

• 成都晶玉陶新材料技术合伙企业（有限合伙）

• 山东宝纳新材料有限公司

• 河北中瓷电子科技股份有限公司

• 江苏中磊节能科技发展有限公司

• 南通三责精密陶瓷有限公司

•  中科院宁波材料所

• 中电科36所

• 上海芮今光电科技有限公司

• 苏州嘉嵘智能装备有限公司

  *参会单位名录持续更新中...

 参会福利持续升级

专业书籍签赠+论坛现场礼品盲盒

《智能终端陶瓷》签赠

• 《智能终端陶瓷》签赠仪式将在论坛上发布，报名参加论坛的单位/个人可免费获赠由 清华大学谢志鹏教授 编著的《智能终端陶瓷》一本！

• 即日起，邀请10家单位报名参加签赠仪式，谢志鹏教授将在新书附上亲笔签名赠与指定参会代表，并与其合影留念。

论坛现场礼品盲盒

组委会特设立其他众多福利，参会预登记有礼、组团参会有礼、转发论坛相关推文/视频/海报有礼、论坛现场指定地点拍照打卡有礼、会后观展有礼，超多福利等你来挖掘！

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账号：10559000000130511

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出行路线

1、虹桥火车站/虹桥机场到酒店：

①乘坐地铁十号线（往基隆路方向），在交通大学处换程11号线（往迪士尼方向）至康新公路站，步行568米至酒店，全程29公里，历时1小时18分钟。

②打车直达酒店41分钟，约115元。

2、上海浦东国际机场至酒店：

①乘坐地铁2号线（往徐泾东方向），在龙阳路处换程16号线（往滴水湖方向）至罗山路站，后换乘步行11号线（往迪士尼方向）至康新公路站，步行568米至酒店，全程33公里，历时1小时49分钟。

②打车直达酒店约25分钟，67元。

2、上海站到酒店：

①乘坐地铁1号线（往莘庄方向），在徐家汇处换程11号线（往迪士尼方向）至康新公路站，步行568米至酒店，全程31公里，历时1小时15分钟。

②打车直达酒店40分钟，约110元。

4、上海南站到酒店：

①乘坐地铁1号线（往富锦路方向），在徐家汇处换程11号线（往迪士尼方向）至康新公路站，步行568米至酒店，全程30公里，历时1小时7分钟。

②打车直达酒店32分钟，约76元。

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